TS ISO 18115-3

TS ISO 18115-3, yüzeylerin kimyasal analizinde optik arayüzey analizine ilişkin terimleri düzenleyen sözlük standardıdır. Ellipsometri, Raman spektroskopisi ve doğrusal olmayan optik teknikler gibi yöntemlerin yanı sıra bu alanlarda kullanılan genel optik kavramlar için ortak bir teknik dil oluşturur.

Optik arayüzey analizinde terimlerin rolü

Optik arayüzey analizi, bir yüzeyin ya da ince bir tabakanın optik tepkisini ölçerek bileşim, kalınlık, kırılma indisi, yüzey durumu veya yapısal özellikler hakkında bilgi elde etmeye dayanır. Bu alanda kullanılan terimler, ölçülen fiziksel büyüklükleri, optik modellemeyi ve veri yorumlamayı doğru anlatmak için önemlidir. Sözlük niteliğindeki bu bölüm, farklı laboratuvarlar ve disiplinler arasında aynı kavramların tutarlı biçimde kullanılmasına yardımcı olur.

Kapsanan teknik çerçeve

• Ellipsometri ve benzeri polarizasyon temelli optik ölçüm yaklaşımları
• Raman spektroskopisiyle ilişkili yüzey ve arayüzey kavramları
• Doğrusal olmayan optik tekniklerde kullanılan terimler
• Yüzey kimyasal analizine yönelik genel optik terimler

Bu bölüm bir yöntem standardından çok, terminoloji standardıdır; dolayısıyla tek tek ölçüm prosedürlerini tarif etmekten ziyade, kullanılan kavramların anlamını netleştirir. Yüzey kimyasal analizi içinde optik arayüzey teknikleri; film, kaplama, yarıiletken, cam ve benzeri çok katmanlı sistemlerin karakterizasyonunda yaygın olarak kullanılır. TS ISO 18115-3, bu teknik alanı anlaşılır ve tutarlı hale getiren kavramsal altyapıyı sağlar.